モデル |
CCQ-35B |
CCQ-50B |
CCQ-63B |
CCQ-80A |
CCQ-100A |
CCQ-150A |
CCQ-200A |
CCQ-250A |
CCQ-320B |
CCQ-400B |
|
フランジ |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
ISO-K / F、CF |
|
呼び径 |
DN35 |
DN50 |
DN63 |
DN80 |
DN100 |
DN150 |
DN200 |
DN250 |
DN320 |
DN400 |
|
(Pa) |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
105 —10-7 |
|
漏れ率(Pa■m3 / s |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
≤1.3×10-10 |
|
ドライブモード |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
空気圧 |
|
(MPa)使用圧力 |
0.3〜0.4 |
0.3〜0.4 |
0.3〜0.4 |
0.4〜0.5 |
0.4〜0.5 |
0.4〜0.5 |
0.4〜0.5 |
0.5〜0.6 |
0.6〜0.7 |
0.6〜0.7 |
|
バルブインプレース表示 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
磁気 |
|
(℃)ベーキング温度 |
オン |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
オフ |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
|
取り付け位置 |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
どれでも |
更新された超高真空ゲートバルブシリーズは、超高真空に適用可能なオリジナルの旧型ゲートバルブをベースに開発された超薄型タイプのゲートバルブです。バルブの外面はシルバーグレーマット仕上げを採用。それは高級で寛大に見えます。バルブ本体やバルブプレートなどの主要部品は、エア抜き量が非常に少ない304ステンレス鋼で作られ、バルブ本体の動きを実現する駆動部品は、316Lステンレス鋼の溶接ベローズを採用しています。バルブプレートのシールには、エア抜き量の少ない輸入フッ素ゴムガスケットを使用しています。
アプリケーション:
シリーズ超高真空ゲートバルブは、超高真空システムの重要な要素の1つであり、超高真空ラインの切り替えメカニズムとして使用できます。
シリーズ超高真空ゲートバルブは、作動媒体として空気と非腐食性ガスを使用する場合に適用できます。
利点:
1.良好な気密性と超低エア抜き率
2.安定した動き、小さな騒音と振動
3.簡単な設置とコンパクトな構造
4.エレガントな外観