利点:
このシリーズのポンプは、過酷な環境(高温、ほこりなど)での性能に優れ、性能が安定しており、耐用年数が長く、メンテナンスが簡単で操作も便利です。
アプリケーション:
主な用途は、産業用リーク検出、PVD、CVD、イオン注入、真空電子部品製造、低Eガラス、ITOガラス、光学コーティング、太陽電池、電子ビーム溶接、真空炉、その他の産業です。
仕様:
フランジ(中) | DN400 ISO-K | ガス全体(sccm) | N2:5500 |
フランジ(アウト)KF | DN100 | 彼:4000 | |
ポンプ速度(L / s) | N2:3500 | H2:3200 | |
彼:2650 | Ar:2100 | ||
H2:1280 | 回転速度(rpm) | 13500 | |
Ar:3200 | ランナップタイム(分) | ≤18 | |
圧縮比 | N2:108 | 冷却タイプ、標準 | 水 |
彼:103 | 冷却水の消費量(L / min) | ≥1 | |
H2:102 | 冷却水温度(℃) | ≤25 | |
Ar:108 | 電源接続:電圧(V AC) | DC24 / AC220 | |
極限圧力(Pa) | 6×10-6 | 最大消費電力(W) | ≤1100 |
最大 連続前真空圧(Pa) | 100 | コントローラモデル | FD-III |
最大 前真空圧 | N2:300 | 重量(kg) | 130 |